日本STAR精密公司前不久成功開發(fā)出了一種小型薄膜循環(huán)泵。該泵設(shè)想用來循環(huán)濃度為30%～40%的稀釋甲醇。據(jù)悉，與甲醇接觸的部分由耐甲醇性材料制成。
　　該泵為薄膜式產(chǎn)品，是在SDMP205型泵的基礎(chǔ)上改進(jìn)的。在薄膜方面、通路，以及閥門方面進(jìn)行改進(jìn)，增加了流量。原產(chǎn)品流量為1.5mL/分。對(duì)于這次開發(fā)的泵結(jié)構(gòu)，該公司沒有公開具體信息。不過，原產(chǎn)品方面，則由作為底座的樹脂板、底座上設(shè)計(jì)的輸入與輸出閥、形狀模仿泵室的樹脂板、泵室一側(cè)為樹脂而另一側(cè)由金屬制成的薄膜，以及驅(qū)動(dòng)薄膜的壓電元件構(gòu)成。